RSH-800旋转传感器
持续沉积监控，最大化设备可用性——即使面对最严苛的应用挑战
长时间的物理气相沉积（PVD）工艺要求设备在运行的每一分钟都保持稳定、精确和可靠。不稳定的速率控制可能导致产量损失、涂层均匀性下降以及宝贵生产时间的浪费。
INFICON RSH-800旋转传感器探头专为需要连续完成的长时沉积工艺而设计。其结构适用于严苛条件下的持续监控，能够稳定一致地支持从开始到结束的关键工艺流程。
为严苛工艺而生
长时间的PVD镀膜周期将系统推向极限。高温环境、厚重涂层、精密多层镀膜以及长时工艺过程，都需要一种在高负荷下仍能保持可靠的监控方案。
RSH-800采用先进的六晶体技术，确保在严苛条件下持续稳定工作。其水冷式热屏蔽外壳可保证在高达300°C的温度下保持稳定，确保整个沉积过程中的测量精度。
全程稳定监控
可靠的膜厚测量对于实现均匀涂层和可预测结果至关重要。RSH-800采用的技术能在长时镀膜过程中保持沉积速率稳定，即使在温度变化和涂层厚度持续增加的情况下，也能提供均匀、不间断的信号输出。
热屏蔽外壳有效减少热冲击效应，有助于在整个工艺过程中保持测量精度。
专为快速维护和高可用性设计
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